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●凈化工程設(shè)計 
    潔凈室是有凈化要求廠區(qū)的心臟，所有的生產(chǎn)在其間完成，潔凈室由兩大部份組成一為潔凈環(huán)境供應(yīng)系統(tǒng)，一為高潔凈度內(nèi)裝系統(tǒng)。
    1.潔凈環(huán)境供應(yīng)系統(tǒng)
    此系統(tǒng)供應(yīng)潔凈室所需的無塵潔凈空氣，并精確控制其微塵，靜壓，溫度與相對濕度，由于潔凈室為一很大的開放空間(Ball Room)，其中又放有許多的生產(chǎn)設(shè)備，因此要將整個潔凈室控制在非常高等級，非常穩(wěn)定的環(huán)境之下供應(yīng)生產(chǎn)，需要很高的技術(shù)層次才能做到，潔凈環(huán)境供應(yīng)系統(tǒng)可分為下列三大子系統(tǒng)：
    1.1補充空氣系統(tǒng)
    補充潔凈室內(nèi)因制程所需抽排掉及自然外泄的空氣，同時調(diào)節(jié)潔凈室內(nèi)的靜壓，并做第一階段的空氣濾凈，調(diào)溫與調(diào)濕。
    1.2循環(huán)空氣系統(tǒng)
    將潔凈室內(nèi)之空氣不斷循環(huán)濾凈，以保持空氣潔凈品質(zhì)并做第二階段的溫度調(diào)節(jié)。
    1.3廢氣排放系統(tǒng)
    將生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的有害有毒廢氣經(jīng)由抽氣除毒裝置將廢氣凈化后排到大氣、廢氣排放系統(tǒng)又可分為下列四大系統(tǒng)：
    1) 一般廢氣：廢熱、機器外罩等無毒的廢氣排放
    2) 廢溶劑：揮發(fā)性的廢溶劑經(jīng)由活性碳吸附或高溫燃燒處理后排放
    3) 酸廢氣：帶酸性的廢氣經(jīng)由堿性濕式洗滌塔中和處理后排放
    4) 堿廢氣：帶堿性的廢氣經(jīng)由酸性濕式洗滌塔中和處理后排放

    2.高潔凈度內(nèi)裝系統(tǒng)
    由于潔凈室對微塵的要求非常嚴苛，因此任何在潔凈室內(nèi)的內(nèi)裝材料必須是不會產(chǎn)生微塵的材質(zhì)，又因為潔凈室內(nèi)相對濕度較低容易產(chǎn)生靜電累積微塵，因此所有材料亦需要導(dǎo)電材質(zhì)以避免靜電的累積，高潔凈度內(nèi)裝系統(tǒng)包含三大主要部份：
    2.1濾網(wǎng)天花
    由超潔凈空氣濾清網(wǎng)所構(gòu)成，為潔凈室微塵控制最主要的一道防線
    2.2導(dǎo)電隔間
    隔離所有生產(chǎn)微塵的來源，如外墻，設(shè)備維修區(qū)，并導(dǎo)掉累積微塵的靜電
    2.3導(dǎo)電高架地板
    由穿孔與不穿孔的地板組成，主要作用在于形成潔凈室氣流的模式以避免擾流發(fā)生